gora-LTC
多模态光电显微镜
ns级时间精度
超宽波段
兼容瞬态与稳态测试
gora-LTC集成EQE（外量子效率）、TPV / TPC（瞬态光电压 / 瞬态光电流）、LBIC（光束诱导电流成像）、噪声电流频谱等多个功能模块于一身，也可根据客户需求量身定制配置，是可用于表征光电材料与器件性能的高精度光电性能综合测试平台。
ns级时间精度
超宽波段
多种光源可选配置
自动化扫描测试
ns级时间精度
配备高速采样模块，时间分辨率优于5ns
超宽波段
标准配备高功率氙灯光源覆盖300~1100nm测试，可扩展到250~1700nm
多种光源可选配置
可选备不同波长连续或脉冲激光器，用于TPV/TPC以及LBIC测试
自动化扫描测试
可选备自动化探针与高精度样品电动位移平台，实现不同点位自动化扫描测试
技术参数
显微模块
项目内容 | 信息详情 |
物镜： | 五孔物镜转盘，支持多倍率、波段长工作距离物镜安装；如 5~100x 平场半复消色差物镜，20x 近紫外物镜等 |
成像模块： | 科勒照明光源，强度可调，600w 像素彩色相机 |
探针台： | 4 探针座、配备 10um 针尖，三同轴电缆，漏电流小于 1pA；探针座支持 XYZ 方向调节，12mm 行程，1um 调节精度 |
样品台： | 电动样品台（75mm*50mm，位移双向重复精度 1μm，最小步距 100nm）、可选手动样品台 |
EQE模块
项目内容 | 信息详情 |
功能： | 显微 EQE/IPCE、暗电流 / 暗态 IV、光谱响应、偏振响应 |
宽谱光源： | 高功率氙灯 300~1100nm |
单色仪： | 320mm 焦长单色仪，内置三光栅，光谱分辨率优于 0.1nm@1200g 光栅 |
交流数据采集模块： | 锁相放大器、响应频率 1mHz~100kHz，100dB 动态范围 |
直流数据采集模块 | 电压检测量程 20mV~200V；电流检测量程 10nA~1A |
TPV/TPC 测试模块
项目内容 | 信息详情 |
功能： | TPV/TPC、探测器瞬态响应 |
脉冲激光光源： | 375~1064nm 范围内可选，ns 级别脉冲宽度，用于响应时间检测 |
调制激光光源： | 375~1064nm 范围内可选，可用于强度扫描、频率扫描、用于 TPV/TPC 检测 |
数据采集模块： | 采样率 1GS/s、带宽不低于 100MHz、通道数 2/4 |
偏置光源： | 可选配 |
LBIC 测试模块
项目内容 | 信息详情 |
功能： | 变光强 I/V、开关比、偏振响应、光电流成像、逐点 IV 扫描、缺陷分布可视化 |
调制激光光源： | 375~1064nm 范围内可选，可用于强度扫描 |
空间分辨率： | 5um（与波长和物镜相关） |
最大扫描范围： | 75*50mm |
位置重复性： | <1um |
应用
案例
参考文献
相关产品
