MetronLens
超构透镜光学检测系统
“光场 + 相位 + 远场”
全面表征
简单易用
毫秒级相位检测
高空间分辨率
高精度 z轴扫描
多波长测试光源
毫秒级相位检测
MetronLens 基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明专利和离轴外差干涉技术,在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测,相位分辨率可达 50mrad;
高空间分辨率
采用优异光学设计,结合大NA(大于 0.75)高倍率的成像系统和高像素数探测器,确保大视场下空间分辨率可达 0.6μm;
高精度 z轴扫描
配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现 0~22mm 行程的光场扫描,z轴扫描定位精度最小可达到 ±1μm;
多波长测试光源
系统内部最多可集成 457nm、532nm、660nm 三种连续激光光源,可满足多样化的波段测试需求,并支持其他光源外部扩展。

技术参数
技术参数
型号 | 信息详情 |
MetronLens: | 光场检测 + 远场检测 |
MetronLens-Phi: | 相位检测 + 光场检测 + 远场检测 |
Metronlens
项目内容 | 信息详情 |
测量模式: | 透射光场分布检测,透射远场分布检测 |
可测量光学参数: | 光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布 |
系统数值孔径: | 0.75 @ 40X |
视野范围: | Φ0.5mm @ 40X,Φ4mm @ 5X |
空间分辨率: | 0.45μm @ 40X,2.35μm @ 5X |
z 轴扫描精度: | ±1μm (0~1mm 行程),±3μm (1~22mm 行程) |
焦距最大测量范围: | 5mm |
标配光源: | 532nm 光纤连续激光器 |
入射平行光发散角: | 0.2° |
光源拓展接口: | 1 个 FC/APC 接口 |
Metronlens-Phi
项目内容 | 信息详情 |
测量模式: | 透射相位分布检测,透射光场分布检测,透射远场分布检测 |
可测量光学参数: | 相位分布、波像差、泽尼克像差、光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布 |
系统数值孔径: | 0.75 @ 40X |
视野范围: | Φ0.5mm @ 40X |
空间分辨率: | 0.6μm @ 40X |
相位测量分辨率 (RMS): | 50mrad |
相位测量波像差: | 0.05λ |
z 轴扫描精度: | ±1μm (0~1mm 行程),±3μm (1~22mm 行程) |
焦距最大测量范围: | 5mm |
标配光源: | 457nm、532nm、660nm 空间光连续激光器 |
入射平行光发散角: | 0.1° |
光源拓展接口: | 1 个 FC/APC 接口、1 个空间光接口 |
选配模块
型号 | 信息详情 |
偏振扩展: | 偏振扩展:支持实现入射 / 接收偏振加载,适配 4mm 厚度偏振片 |
定制服务: | 定制服务:支持其他激光波长扩展定制 |
典型应用领域
超构表面(Metasurface) | 微透镜阵列 (Microlens Array,MLA) | 衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE) | ||
是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构,可以高自由度的对光波进行调控和操纵,因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。 | 是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列,因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。 | 是基于光的衍射效应而设计的光学元件,核心是对光的相位进行调制,需要高分辨率的相位测量。 |
应用
案例
参考文献
建议标注文字:MetronLens,Optical measurement system of metalenses. ideaoptics. China // Thanks for your support!