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MetronLens

超构透镜光学检测系统

“光场 + 相位 + 远场”

全面表征

简单易用

MetronLens 超构透镜光学检测系统 是一款面向超构透镜、超构表面、微透镜阵列等平面光学元件的专用光学检测系统。 该系统综合了显微成像技术、离轴数字全息技术以及远场成像技术等多种先进技术,可实现光场分布、相位分布和远场分布的原位检测,深刻揭示超构表面、超构透镜、微透镜阵列等平面光学元件的内在物理特性,为验证设计的准确性、制备加工工艺的优化提供了强有力的检测工具。

毫秒级相位检测

高空间分辨率

高精度 z轴扫描

多波长测试光源

毫秒级相位检测
MetronLens 基于“微型透镜检测系统及其检测方法”发明专利和离轴外差干涉技术,在显微体系下实现了毫秒级相位分布检测,相位分辨率可达 50mrad;

 

高空间分辨率 
采用优异光学设计,结合大NA(大于 0.75)高倍率的成像系统和高像素数探测器,确保大视场下空间分辨率可达 0.6μm;

 

高精度 z轴扫描  
配有三轴全闭环超高精度电控位移台,能够轻松实现 0~22mm 行程的光场扫描,z轴扫描定位精度最小可达到 ±1μm;

 

多波长测试光源 
系统内部最多可集成 457nm、532nm、660nm 三种连续激光光源,可满足多样化的波段测试需求,并支持其他光源外部扩展。 

技术参数

 

  技术参数

   型号

信息详情

  MetronLens:

光场检测 + 远场检测

  MetronLens-Phi:

相位检测 + 光场检测 + 远场检测

 

 Metronlens

   项目内容

信息详情

   测量模式:

透射光场分布检测,透射远场分布检测

   可测量光学参数: 

光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布

   系统数值孔径: 

0.75 @ 40X

   视野范围: 

Φ0.5mm @ 40X,Φ4mm @ 5X

   空间分辨率: 

0.45μm @ 40X,2.35μm @ 5X

   z 轴扫描精度: 

±1μm (0~1mm 行程),±3μm (1~22mm 行程)

   焦距最大测量范围: 

5mm

    标配光源:

532nm 光纤连续激光器

   入射平行光发散角: 

0.2°

   光源拓展接口: 

1 个 FC/APC 接口

 

 Metronlens-Phi

   项目内容

信息详情

    测量模式:

透射相位分布检测,透射光场分布检测,透射远场分布检测

    可测量光学参数:

相位分布、波像差、泽尼克像差、光场分布、焦距、数值孔径、PSF、MTF、相对聚焦效率、成像分辨率、远场分布

    系统数值孔径: 

0.75 @ 40X

    视野范围:

Φ0.5mm @ 40X

    空间分辨率:

0.6μm @ 40X

    相位测量分辨率 (RMS):

50mrad

    相位测量波像差: 

0.05λ

    z 轴扫描精度:

±1μm (0~1mm 行程),±3μm (1~22mm 行程)

    焦距最大测量范围:

5mm

    标配光源:

457nm、532nm、660nm 空间光连续激光器

    入射平行光发散角:

0.1°

    光源拓展接口:

1 个 FC/APC 接口、1 个空间光接口

 

  选配模块

   型号

信息详情

  偏振扩展:

偏振扩展:支持实现入射 / 接收偏振加载,适配 4mm 厚度偏振片

  定制服务:

定制服务:支持其他激光波长扩展定制

典型应用领域

   超构表面(Metasurface) 

 

微透镜阵列

(Microlens Array,MLA)

 

衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE) 

是一种由亚波长的微纳结构组成的平面结构,可以高自由度的对光波进行调控和操纵,因此超构表面的研究需要测量它所调控的光场分布和相位分布。

 

是由尺寸只有几十微米和数百微米的微型透镜构成的阵列,因此微透镜阵列的研究需要微米尺度的单透镜检测能力。

 

是基于光的衍射效应而设计的光学元件,核心是对光的相位进行调制,需要高分辨率的相位测量。

应用

案例

参考文献

"Phase characterisation of metalenses." Light: Science & Applications (2021). 影响因子:20.257,单位:复旦大学,通讯作者:石磊, 董建文, 资剑, 蔡定平
"A Highly Efficient Bifunctional Dielectric Metasurface Enabling Polarization-Tuned Focusing and Deflection for Visible Light." Advanced Optical Materials (2019). 影响因子:10.05,单位:韩国光云大学,通讯作者:Sang-Shin Lee
"Experimental demonstration of optical trapping and manipulation with multifunctional metasurface." Optics Letters (2022). 影响因子:3.56,单位:西安光机所,通讯作者:王国玺, 姚保利
"Metalenses at visible wavelengths: Diffraction-limited focusing and subwavelength resolution imaging." Science (2016). 影响因子:63.714,单位:哈佛大学,通讯作者:Federico Capasso
"Revolutionary meta-imaging: from superlensto metalens." Photon.Insights (2023). 单位:南京大学,通讯作者:李涛,祝世宁,陈晨
"A meta-device for intelligent depthperception." Advanced Materials (2023). 影响因子:16.639,单位:香港理工大学,通讯作者:蔡定平
"Monocular metasurface camera for passivesingle-shot 4D imaging." Nature Communications (2023). 影响因子:8.799,单位:清华大学,通讯作者:杨原牧

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